自動拼圖軟件（AIM）在SEM大景深樣品拍攝中的應用

圖1 自動拼圖軟件界面

自動拼圖（Automated Image Mapping）軟件（圖1）選件是飛納電鏡的又一功能強大的實用軟件。其主要優(yōu)勢總結(jié)如下：

• 大范圍內(nèi)自動收集多張圖片
• 生成大面積視野的圖片
• 自動生成高分辨率、高清晰度大圖
• 操作簡單，“選擇區(qū)域”然后“掃描”即完成

以下舉例說明其各個優(yōu)勢及其應用場合：

• 大范圍多張圖片的收集對于ParticleMetric顆粒系統(tǒng)、PoroMetric 孔洞系統(tǒng)的作用

下圖2(a) 是顆粒樣品的AIM拼圖結(jié)果，這張圖的分辨率達到了9631×6683，占用空間達到了31.8Mb，采用70張圖拼成，單張圖片的效果見圖2(b)。此圖只需要選好區(qū)域之后，軟件自動生成即可。顆粒系統(tǒng)和孔洞系統(tǒng)軟件可以把 AIM 的結(jié)果全部導入，一次zui多自動處理1000張圖片，統(tǒng)計顆?；蚩锥吹牡闹睆健A度等數(shù)據(jù)，自動生成統(tǒng)計報告。

(a)

(b)

圖2 (a) 自動拼圖軟件結(jié)果 (b)拼圖中捕捉到的單張圖片

• 大面積視野的圖片對于尋找目標特征點的意義

圖3 尋找大視野范圍的特征物

圖3所示為珊瑚砂樣品，為了尋找其中的特征物，我們對可能存在的局部進行了自動拼圖，完成后結(jié)果一目了然，即可輕易地辨認其中的海洋生物化石。同樣的功能也可以應用在雜質(zhì)的尋找方面，公司的產(chǎn)品質(zhì)控部門往往需要找到雜質(zhì)的位置，而微觀的雜質(zhì)尋找需要耗費大量的人力，有了AIM軟件，便不需要借助光學顯微鏡數(shù)小時的尋找，只需選擇目標區(qū)域，軟件自動找尋。

• 高分辨高清大圖對于大景深樣品拍照的作用

(a)

(b)

圖4 金屬斷口樣品的AIM拼圖結(jié)果 (a) AIM拼圖界面 (b) 局部的單圖

圖4 中顯示了AIM在斷口類大景深樣品中的應用，由于AIM的跟蹤對焦功能和跟蹤自動亮度對比度功能，可以實現(xiàn)樣品在凹凸起伏較大的情況下，不同的局部不同的焦距，zui終使樣品在大圖中的各個位置均非常清楚。這樣就有效避免了電鏡拍攝時“大景深模式“帶來的清晰度損失，以及景深過大導致的“局部清晰、局部模糊”的情況。

圖5 自動拼圖軟件工作原理示意圖

圖5 是AIM自動拼圖軟件跟蹤對焦(Follow Focus)的工作原理示意圖，可以清晰地看到，當樣品表面高低起伏時，BSD探頭可以根據(jù)焦距的變化自動優(yōu)化焦距和亮度對比度，從位置1移動到位置2的過程中，不需要人為干預，自動給出*清晰度和顯示效果的圖片。在每張小圖都可以獲得*分辨率的前提下，zui終拼出來的大圖效果才會是、*、高清大圖。

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